封閉式干涉式激光尺利用微型激光干涉儀，以工業(yè)應用中最重要的線(xiàn)型標定為核心，將光學(xué)相干光路等集成在單個(gè)光電芯片上，一步實(shí)現激光干涉儀的線(xiàn)型測長(cháng)和標定功能，從而簡(jiǎn)化了干涉儀系統測試時(shí)的復雜程度。

MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀將參考光路內置于干涉儀中，將光學(xué)相干光路等集成在單個(gè)光電芯片上，一步實(shí)現激光干涉儀的線(xiàn)型測長(cháng)和標定功能，從而簡(jiǎn)化了干涉儀系統測試時(shí)的復雜程度。