Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器

Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器是一種用于高精度薄膜沉積的edge-cutting工具。它適用于研究和生產(chǎn)環(huán)境，這種緊湊的系統利用電子束直接加熱坩堝中的蒸發(fā)物，能夠以的控制力沉積金屬。與傳統的熱蒸發(fā)方法相比，Mini E-Beam Evaporator具有更高的效率，對基底的熱負荷更低，并且能夠同時(shí)共蒸發(fā)多種材料，使其成為各種涂層應用中多功能且可靠的解決方案。

Evap-4兼容超高真空（UHV），可以單獨提供，也可以與Nikalyte定制的任何PVD系統集成。

關(guān)鍵特性：

·         最多可共蒸發(fā)4種材料

·         緊湊的源設計

·         對基底的熱負荷低

·         集成4通道電源

·         用于速率監測的通量測量

·         兼容超高真空

·         可烘烤至250°C

·         包括手動(dòng)或氣動(dòng)控制快門(mén)的選擇

·         可定制的真空內長(cháng)度

Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器規格：

·         安裝法蘭：NWCF63

·         真空內長(cháng)度：標準300毫米（可定制長(cháng)度）

·         真空內直徑：57毫米

·         坩堝體積：1000毫米3（1立方厘米）

·         坩堝材料：鉬（Mo）、鎢（W）、石墨（Gr）

·         坩堝襯里：氧化鋁（Al?O?）、氮化硼（PBN）

·         超高真空兼容性：是，可烘烤至250攝氏度

·         冷卻液流量：Min.1.0升/分鐘

·         功率：?jiǎn)蜗?/span>100-240伏交流電，50/60赫茲

·         快門(mén)：內置手動(dòng)或可選氣動(dòng)操作