Nikalyte NL-50磁控濺射儀

Nikalyte NL-50磁控濺射儀能夠將超純、不聚集的納米顆粒直接沉積到直徑達 50 毫米的任何表面上。NL50 專(zhuān)為共享研究或教學(xué)實(shí)驗室設計，學(xué)生和研究人員可以在其中并行開(kāi)展各種納米技術(shù)項目，無(wú)需擔心交叉污染。其應用領(lǐng)域包括催化、光子學(xué)、能源存儲、傳感器和生命科學(xué)。

• 超純且不含碳氫化合物。
• 不聚集。
• 結果一致且可重復。
• 提供廣泛的材料選擇。
• 可生成化合物納米粒子，例如氮化物和氧化物。

Nikalyte NL-50磁控濺射儀主要特點(diǎn)：

·         沉積無(wú)碳氫化合物、不聚集的納米顆粒。

·         可實(shí)現從亞單層到高孔隙率 3D 納米涂層的沉積。

·         表面等離子體清洗和功能化。

·         生成純金屬或化合物納米顆粒，如氧化物和氮化物。

·         提供廣泛的材料選擇，包括銀（Ag）、金（Au）、銅（Cu）、鎳（Ni）、銥（Ir）和鉑（Pt）。

·         使用石英晶體微天平（QCM）進(jìn)行實(shí)時(shí)沉積控制。

·         典型周期時(shí)間為 30 分鐘的可重復過(guò)程。

·         室溫沉積與石墨烯、膜和塑料等敏感基底兼容。

耗材

靶材尺寸：直徑 1 英寸（25.4 毫米），最大厚度 3 毫米

最大樣品尺寸：直徑 50 毫米

材料：導電材料，包括銀（Ag）、金（Au）、鉑（Pt）、銅（Cu）、鎳（Ni）、鈦（Ti）、銥（Ir）

規格參數

重量：約 60 公斤（113 磅）

尺寸（長(cháng)×寬×高）： 70 厘米×50 厘米×60 厘米