NeoColor 90晶體基片黑化色度分析儀

在集成電路黃光制程中，晶體基片黑化后的顏色判別是影響光刻膠曝光精度的關(guān)鍵環(huán)節。傳統方法依賴(lài)人工目視評判基片黑化程度和均勻性，易受環(huán)境光照差異、人眼疲勞及主觀(guān)判斷偏差等因素干擾，導致評估一致性差、良品率波動(dòng)顯著(zhù)（通常損失5%-10%）。尤其在濾波芯片制造中，納米級線(xiàn)寬要求基片反射率誤差需控制在±0.5%以?xún)?，目視檢測難以滿(mǎn)足精度需求。

NeoColor 90晶體基片黑化色度分析儀采用全波段光譜捕捉（360-780nm），反射分辨率達0.01%，重復測量精度達到ΔE*ab≤0.02，確保黑化層色度的測量和品控符合工藝標準。

符合標準

符合標準CIE No.-15， GB/T 30118-2013，GB/T 3978，GB 2893，GB/T 18833，ISO7724-1，ASTM E1164，DIN5033 Teil7

測量參數

光譜反射率,CIE-Lab, CIE-LCh, HunterLab, CIE-Luv, XYZ, Yxy, RGB

色差值

ΔE*ab,ΔE*cmc,ΔE*94,ΔE*00

工業(yè)指標

黑度（My,dM）

黃度(ASTM D1925,ASTM E313-00,ASTM E313-73)

Tint(ASTM E313-00)

色密度CMYK(A,T,E,M)

同色異譜指數MI

遮蓋力

力份(染料強度,著(zhù)色力)

NeoColor 90晶體基片黑化色度分析儀技術(shù)規格

測量結構：D/8，SCI+SCE

積分球直徑：40mm

分光方式：光柵

感應器：雙陣列高精度CMOS傳感器

照明光源：LED(全波段均衡LED光源)+UV

波長(cháng)間隔：10nm

波長(cháng)范圍：400-700nm

反射率測定范圍：0-200%

反射率分辨率：0.01%

測量重復性/穩定性：

色度值: 標準偏差值dE*ab≤ 0.02(白板校準后以5秒間隔測量白板30次)
光譜反射率： 標準偏差小于0.08%

臺間差：ΔE*ab≤0.20（BCRA系列Ⅱ 12塊色板測量平均值）

顯示精度：0.01

測量時(shí)間：小于2秒

視角：2°，10°

測量/照明口徑：MAV:Φ8mm/Φ11mm；SAV:Φ4mm/Φ6mm；MINI:1*3mm

攝像頭取景定位：有

校準：智能自動(dòng)校準

接口：USB，藍牙

屏幕：IPS全彩屏幕3.5英寸

存儲：儀器100條標準，10000條批次樣存儲。

光源壽命：10年100萬(wàn)次

電池容量：?jiǎn)未纬潆娍蛇B續測量8000次，3.7V/3000mAh

語(yǔ)言：簡(jiǎn)體中文，英語(yǔ)

軟件支持：Windows