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    NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀

    簡(jiǎn)要描述:NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(cháng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級別精度的測量.

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
    • 更新時(shí)間:2020-11-10
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:2728

    詳細介紹

    品牌其他品牌價(jià)格區間面議
    產(chǎn)品種類(lèi)非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
    應用領(lǐng)域能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣

     

     

    NanoSystem成立于2003年,為半導體、顯示器和其他精密機械行業(yè)提供了用非接觸式表面測量方法進(jìn)行測量的解決方案。 NanoSystem已經(jīng)建立了非接觸式2D、3D測量和檢測系統的核心技術(shù),并成為該市場(chǎng)解決方案的Leader。

    高精度(Z軸分辨率達0.1nm)的非接觸式表面輪廓儀,采用白光掃描干涉技術(shù),使客戶(hù)有能力看到、理解和糾正或保持產(chǎn)品質(zhì)量。

     

     

    NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀為L(cháng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級別精度的測量.

    包括:非接觸3D形貌測量,更廣的測量范圍(5mm可選),自動(dòng)聚焦功能(可選),拼接和線(xiàn)路縱斷面等功能。

     

    NanoSystem NV-3200非接觸式3D光學(xué)輪廓儀技術(shù)參數

    干涉物鏡:5物鏡可選(程控)

    掃描范圍:0-180um(270um,5mm可選)

    垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

    橫向分辨率:0.2-4um(取決于物鏡和FOV)

    傾斜度:±6°

    工作平臺:NV-P2020  200X200mm(程控)    

    NV-P4050  400X500mm(程控)

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